[发明专利]蒸发温度敏感材料有效
| 申请号： | 200580019502.8 | 申请日： | 2005-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1969055A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | J·M·格雷斯;M·龙;B·E·科普 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;H01L51/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 韦欣华;范赤 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种将材料蒸发到基材表面以形成膜的方法，包括提供一定量的材料到蒸发装置中，在处于第一温度条件的该蒸发装置中加热该材料，和施加作用于一部分材料的热脉冲以引起材料的该部分蒸发并且被施加到基材表面。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 温度 敏感 材料 | ||
【主权项】：
1.一种将材料蒸发到基材表面以形成膜的方法，包括：a)提供定量的材料到蒸发装置中；b)在处于第一温度条件的该蒸发装置中加热该材料；和c)施加作用于一部分材料的热脉冲，以引起材料的该部分蒸发并且被施加到基材表面。
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