[发明专利]用于屏蔽带电粒子束的设备无效
| 申请号： | 200580017795.6 | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1985344A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张涛 | 申请（专利权）人： | 纳米束有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/147;H01J37/09;H01J37/15 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 谭祐祥 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 用来屏蔽带电粒子束的设备。射束屏蔽单元(1)包括固定到支撑板(15)的第一和第二屏蔽板(2，3)。阻止器(4)与5第一屏蔽板(2)机械地连接和电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 屏蔽 带电 粒子束 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用来屏蔽带电粒子束的设备，包括：用于偏转带电粒子的电极；用于阻挡偏转的带电粒子束的装置；其中所述阻挡装置是由电极支撑的，以使其可随所述电极活动，并且与所述电极电连接以处于和所述电极极性相同的偏置。
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