[发明专利]在衬底上形成功能材料的图案的方法无效
| 申请号： | 200580016487.1 | 申请日： | 2005-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1998098A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | A·R·巴克利;C·吉比勒;M·沃伊特;D·G·利德泽;K·L·伯伦;J·菲尔特 | 申请（专利权）人： | 埃克西泰克有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/40 | 分类号： | H01L51/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张鑫 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种在衬底(200)上形成功能材料的图案方法，该方法包括以下步骤：(a)向所述衬底的至少一个主表面涂一层功能材料(225)；(b)在所述一层功能材料上涂一层保护材料(230)，它可溶于功能材料(225)不可溶于其中的溶剂中；(c)去除衬底上明确限定的区域中的所述保护层(230)和功能材料层(225)的区域；以及(d)通过在所述溶剂中溶解从衬底(200)去除剩余的曝露的保护材料(230)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 形成 功能 材料 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在衬底上形成功能材料的图案的方法，包括以下步骤：(a)向所述衬底的至少一个主表面涂一层功能材料；(b)在所述功能材料层上涂一层保护材料，所述保护材料可溶于所述功能材料不可溶于其中的溶剂中；(c)去除所述衬底上明确限定的区域中的所述保护和功能材料层的区域；以及(d)通过在所述溶剂中溶解来从衬底上去除剩余的曝露的保护材料。
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