[发明专利]带有传感元件的线性阵列的惯性传感器有效
| 申请号： | 200580015514.3 | 申请日： | 2005-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1954192A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 约翰·A·吉恩 | 申请（专利权）人： | 模拟设备公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘建功;车文 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种惯性传感器，其包括布置成线性阵列的至少一对传感元件。各传感元件具有框架和悬置在框架内部的可动质量体。各对传感元件的框架可耦合成，允许框架沿平行轴线彼此反相位移动，但基本上防止框架彼此同相位移动。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 传感 元件 线性 阵列 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种惯性传感器，其包括：至少一个基板；和基本上在所述至少一个基板上方的平面内配置成线性阵列的至少两对传感元件，各对传感元件包括：第一传感元件，其具有悬置在第一框架内部的第一谐振器；和第二传感元件，其具有悬置在第二框架内部的第二谐振器，其中：所有框架基本上沿所述平面内的第一轴线对齐，每一对传感元件的框架配置成沿垂直于第一轴线的平面内的平行轴线彼此反相位移动。
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