[发明专利]非金属基板切割设备及其方法有效

专利信息
申请号: 200580015314.8 申请日: 2005-05-11
公开(公告)号: CN101031383A 公开(公告)日: 2007-09-05
发明(设计)人: 方圭龙;李昌馥;金钟郁;金永敏 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: B23K26/40 分类号: B23K26/40
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 章社杲
地址: 韩国庆*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开了一种非金属基板切割设备及其方法,本发明适用于在切割各种非金属基板(例如:用于制造诸如薄膜晶体管-液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示器(PDP)、有机发光显示器(OLED)等平面显示器的玻璃基板)时,利用通过调整短波激光的聚焦位置控制切割深度的方式,来同时切割上基板和下基板,或者选择性切割上基板或下基板。本发明包括:激光束产生器(10),用以产生紫外线(UV)短波激光束;激光头(6),施加短波激光束至要被切割的非金属基板上的特定位置处;焦点移动装置(8),用以沿着基板的深度方向改变激光束的聚焦位置;以及相对物体移动装置(3,4),用以允许基板与激光束产生相对移动,以切割基板。
搜索关键词: 非金属 切割 设备 及其 方法
【主权项】:
1.一种非金属基板切割设备,包括有:激光束产生器,用以产生紫外线(UV)短波激光束;激光头,用以施加短波激光束到要被切割的非金属基板上的特定位置处;焦点移动装置,用以沿着基板的深度方向改变激光束的聚焦位置;以及相对物体移动装置,用以允许基板与激光束产生相对移动,以切割基板。
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