[发明专利]使用激光束分离材料层的方法有效
| 申请号： | 200580015231.9 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1973375A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 琼库克·帕克;杰弗里·P.·瑟塞尔;帕特里克·J.·瑟塞尔 | 申请（专利权）人： | J.P.瑟塞尔联合公司 |
| 主分类号： | H01L29/22 | 分类号： | H01L29/22;H01L33/00;H01L21/30;H01L21/46 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过辐照材料层和衬底之间的界面，使用剥离方法从衬底上分离材料层。根据一个示例工艺，将层分成多个与衬底上的管芯对应的区段，并且将均匀束斑的形状设置成覆盖整数个区段。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 激光束 分离 材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种从衬底上分离至少一层材料的方法，所述方法包括：提供第一和第二衬底以及在所述衬底之间的至少一层材料，将所述至少一层材料分成由间隔分开的多个区段；使用激光形成束斑，其中将所述束斑的形状设置成覆盖整数个所述区段；以及使用所述束斑辐照所述第一衬底和所述区段之间的界面，其中对于所述整数个所述区段中每个都进行所述辐照，直至从所有所述区段中分离所述第一衬底。
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