[发明专利]排气捕集装置无效
| 申请号： | 200580013031.X | 申请日： | 2005-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1946466A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 辻德彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D45/08 | 分类号： | B01D45/08;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在捕集通过气体排气路径的排出气体中的析出物的排气捕集装置(100)中，沿着排气路径串联配置多个排气捕集部件(110、120、130)，其构成使排出气体在内部通过的排气通路。在各个捕集部件内的排气捕集部分上设置多个冲突板。上游侧的捕集部件(110、120)的排气捕集部分的冲突板，配置为在该排气通路内存在沿着排气通路的轴线方向连续地延伸而不被配置在该排气通路内的冲突板遮断的空间。下游侧的排气捕集部件(130)内的排气捕集部分的冲突板配置为不存在该空间。由此，可不进行复杂的控制而抑制反应副生物等的析出物堆积量的偏置，还可以可靠减少析出成分向排气捕集装置的下游侧流出。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 集装 | ||
【主权项】：
1.一种排气捕集装置，从通过气体排气路径的排出气体中捕集析出物，其特征在于，沿着所述排气路径串联配置多个形成有使排出气体通过其各自的内部的排气通路的排气捕集部分；所述多个排气捕集部分包含配置在排出气体的流动方向的上游侧的第一排气捕集部分、和配置在下游侧的第二排气捕集部分；在所述第一排气捕集部分上设置多个冲突板，所述多个冲突板配置为遮断沿着该排气通路的轴线方向在该排气通路中流动的排出气体的流动，而且，配置所述多个冲突板，使得在该排气通路内存在沿着排气通路的轴线方向连续延伸而不被配置在该排气通路内的任何冲突板遮蔽的空间；在所述第二排气捕集部分上设置多个冲突板，所述多个冲突板配置为遮断沿着该排气通路的轴线方向在该排气通路中流动的排出气体的流动，而且，配置所述多个冲突板，使得在该排气通路内不存在沿着排气通路的轴线方向连续地延伸而不被配置在该排气通路内的任何冲突板遮断的空间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580013031.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
