[发明专利]电介质阻挡放电准分子光源无效
| 申请号： | 200580012116.6 | 申请日： | 2005-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN1947219A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 米克黑尔·I.·洛梅夫;安德雷·A.·利森戈;维特·S.·斯卡冈;德米特里·V.·施特茨;维特·F.·塔拉森戈;松本好家 | 申请（专利权）人： | 千工程股份有限公司;高电流电子协会 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;H01S3/038 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 曲瑞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的电介质阻挡放电准分子光源，能得到高亮度的真空紫外波长领域光，并能使该光效率良好地照射到被照射物体。阳极电极(10)由直长筒体构成，且该筒体的外围覆盖了电介质(12)。而阴极部分(20)为直长半圆筒体状。阴极(25)包容阳极，且阳极与阴极在纵方向上互相平行设置。阴极具有阴极线组(16)。使构成阴极线组(16)的数根电线相互平行，将电线的两端沿纵方向固定于构成阴极的半圆筒体的两端(20D)上。此外，在面向阳极侧的阴极部分的表面(20S)上形成能够反射真空紫外领域辐射的反射面。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质 阻挡 放电 分子 光源 | ||
【主权项】：
1.一种电介质阻挡放电准分子光源，其特征在于：具有由电介质及被该电介质覆盖的中空的直长筒体构成的阳极；阴极为包容该阳极的长形阴极，阴极具有直半筒体和位于该半筒体内的数根相互平行固定的电线构成的线组；上述阳极与上述阴极在纵方向上相互平行设置；在面向上述阳极侧的上述阴极表面形成能够反射真空紫外光谱领域的辐射的反射面。
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