[发明专利]修改微机电元件的时间响应无效
| 申请号： | 200580006504.3 | 申请日： | 2005-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1926461A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 马尼什·科塔里;威廉·J·卡明斯 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一衬底上布置一可移动元件阵列。每一元件均具有一空腔及一移动穿过所述空腔的可移动部件。所述元件的压力阻力发生变化，从而允许以致动信号的不同电平来操纵致动信号来从而以不同的压力阻力来激励元件。 | ||
| 搜索关键词： | 修改 微机 元件 时间 响应 | ||
【主权项】：
1、一种位于一衬底上的可移动元件阵列，每一元件均包括：一空腔；及一移动穿过所述空腔的可移动部件；其中所述元件的一压力阻力会发生变化。
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