[发明专利]包括有源和无源微辐射热计的辐射热检测装置的制造方法无效
| 申请号： | 200580006481.6 | 申请日： | 2005-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1926416A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 让－路易斯·奥弗里－巴菲特;劳伦斯·卡尔;克莱尔·维亚勒;米歇尔·维拉林 | 申请（专利权）人： | 原子能委员会;ULIS公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种无源微辐射热计(12)，包括反射屏(17)和用于吸收辐射、测温及电连接的悬置膜(22)。该膜由固定到支承基板(16)上的至少两个固定件(15)支承。反射屏(17)可由厚度约为500至2000的至少一个金属层(18)支承。该屏(17)布置在膜下方并与膜吸收元件(13)电接触，从而减小由屏(17)和吸收元件(13)组成的单元的面电阻率并避免该吸收元件吸收辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 有源 无源 辐射热 检测 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造辐射热检测装置的方法，该装置包括至少一个有源微辐射热计(19)和至少一个无源微辐射热计(12)，每个微辐射热计包括用于吸收辐射、测温及电连接的悬置膜(22)，有源微辐射热计(19)和无源微辐射热计(12)同时形成在单个支承基板(16)上，而反射屏(17)形成在整个器件上，随后在相对有源微辐射热计(19)的位置被去除，该方法的特征在于，膜(22)包括测温元件(14)和电连接用的辐射吸收元件(13)，无源微辐射热计(12)形成在反射屏(17)上，该反射屏(17)包括与膜(22)的吸收元件(13)接触的至少一个金属层(18)。
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