[发明专利]流量限制器无效
申请号: | 200580006003.5 | 申请日: | 2005-02-24 |
公开(公告)号: | CN1922561A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | D·T·马德;W·W·怀特;V·米勒;C·戴维斯;木村美良;安田忠弘 | 申请(专利权)人: | 霍里巴斯特克公司 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06;F16K47/08 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵蓉民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 具有第一盘和第二盘的流量限制器,其中第一盘具有至少一个入口和至少一个出口以及流动路径,第二盘没有流动路径。第一盘和第二盘是叠置在一起的。质量流量控制器包括输入、输出、流动路径、压力传感器以及上述流量限制器。 | ||
搜索关键词: | 流量 限制器 | ||
【主权项】:
1.一种流量限制器,包括:第一盘,其具有至少一个入口和至少一个出口及流动路径;以及没有流动路径的第二盘;所述第一盘和第二盘是叠置在一起的。
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