[发明专利]用于测试集成电路对闭锁的敏感度的方法和设备有效
| 申请号： | 200580003293.8 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1914514A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | A·斯卡帕;P·H·卡普庞;P·C·德琼;T·斯密德斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/316 | 分类号： | G01R31/316;H01L23/544 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;王勇 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于测试集成电路设计对闭锁敏感度的测试模块，所述测试模块包括多个并联的测试块(30)，每个测试块包括注入器块(12)，用于向各自的测试块(30)施加应力电流或电压，还包括多个传感器块(13)，位于从各自的注入器块(12)开始连续增加的距离处，每个传感器块(13)包括PNPN闭锁测试结构。本发明使用标准的PNPN闭锁测试结构组合了常规的IC应力电流测试以及闭锁参数测量的各自优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 集成电路 闭锁 敏感度 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试集成电路设计对闭锁敏感度的测试模块，所述测试模块包括多个并联的测试块(30)，每个测试块包括注入器块(12)，用于向各自的测试块(30)施加应力电流或电压，所述测试模块还包括多个传感器块(13)，位于从各自的注入器块(12)开始连续增加的距离处，每个传感器块(13)包括PNPN闭锁测试结构。
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