[发明专利]流量控制装置及其调整方法

摘要

本发明提供一种组装有检测用容器，由装置自身进行质量流量的检测动作的质量流量控制装置。在流通流体的流通路(6)中，介设检测该流通路中流通的流体的质量流量并输出流量信号的质量流量检测机构(8)，以及通过由阀门驱动信号改变阀门开度来控制质量流量的流量控制阀机构(10)，设有根据外部所输入的流量设定信号与上述流量信号，控制上述流量控制阀机构的控制机构(18)的质量流量控制装置中，具备检测控制机构(48)，其在上述流通路中，分别设置开闭该流通路的检测用阀门部(42)、具有给定容量的检测用容器部(44)、以及检测上述流体的压力并输出压力检测信号的压力检测机构(46)，使用并控制上述检测用阀门与上述储存部以及上述压力检测部，以进行质量流量检测动作。

主权项

1.一种流量控制装置，是一种在向压力比流体供给源低的流体供给对象供给流体的流通路中，控制流体的流量的流量控制装置，具备：第1开闭阀门，其开闭所述流通路；流量控制部，其具备用来对所述流通路中所流通的流体的流量进行控制的流量控制阀机构；压力检测部，其能够在相对所述第1开闭阀门与所述流量控制阀机构相同侧中，检测所述流体的压力；以及偏移测定控制部，其计算出距离所述流量控制部所控制的所述流量的基准值的偏移，所述偏移测定控制部，在固定所述流量控制阀机构的开度，通过所述第1开闭阀门将所述流通路关闭了的状态下，通过所述压力检测部测定压力变化；根据所述测定的压力变化，计算距离所述基准值的偏移。