[实用新型]一种用于真空镀膜领域的传动装置无效
| 申请号： | 200520109065.6 | 申请日： | 2005-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN2859087Y | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 程云立;张云龙;徐健 | 申请（专利权）人： | 北京东方新材科技有限公司 |
| 主分类号： | F16H1/22 | 分类号： | F16H1/22;F16H37/02;F16J15/43;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100096北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜领域的传动装置，所述传动装置包括密封装置(20、45)、公转大盘(28、51)、一次自转小齿轮(29、54)、一次自转轴(27、58)，所述传动装置还包括同心布置的至少两根传动轴、一次自转大齿轮(30、63)，其中，公转大盘与公转传动轴固定连接，一次自转大齿轮与一次自转传动轴固定连接，一次自转轴通过轴承与公转大盘相连接，一次自转小齿轮固定于一次自转轴上，并且与一次自转大齿轮相啮合。该传动系统可通过多台电机的协同操控实现工件在一定范围内的公转、一次自转和二次自转的任意组合以及工件架的定位。同时采用磁流体密封的同心多轴传动方式还可以有效的减少传动系统占用的空间和真空室的开孔数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 领域 传动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空镀膜领域的传动装置，包括密封装置(20，45)、公转大盘(28，51)、一次自转小齿轮(29，54)、一次自转轴(27，58)，其特征在于，所述传动装置还包括同心布置的至少两根传动轴、一次自转大齿轮(30，63)，其中，公转大盘与公转传动轴固定连接，一次自转大齿轮与一次自转传动轴固定连接，一次自转轴通过轴承与公转大盘相连接，一次自转小齿轮固定于一次自转轴上，并且与一次自转大齿轮相啮合。
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