[实用新型]二维相移云纹干涉仪无效
申请号: | 200520040811.0 | 申请日: | 2005-04-13 |
公开(公告)号: | CN2791597Y | 公开(公告)日: | 2006-06-28 |
发明(设计)人: | 张熹;陆鹏;吴君毅;夏远富 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七一一研究所 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 周成 |
地址: | 2000*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种二维相移云纹干涉仪,包括了底座、激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均依次置于光路中,激光器发出的光依次经过扩束镜、非球面分光装置后投射到被测物上,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均设于底座上。该干涉仪较传统的云纹干涉仪的测量灵敏度有较大的提高,同时,使得仪器的结构更为紧凑,便于携带,能解决工程中的静态、准动态及动态问题,具有良好地应用前景。 | ||
搜索关键词: | 二维 相移 干涉仪 | ||
【主权项】:
1、一种二维相移云纹干涉仪,其特征在于:该云纹干涉仪包括底座、激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均依次置于光路中,激光器发出的光依次经过扩束镜、非球面分光装置后投射到被测物上,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均设于底座上。
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