[实用新型]内藏静电除尘机构连续式真空镀膜机无效
| 申请号： | 200520004109.9 | 申请日： | 2005-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN2797387Y | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 黄泰源;廖学炯;余端仁;刘忠炯;李原吉;许耿祯 | 申请（专利权）人： | 友威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种内藏静电除尘机构连续式真空镀膜机，包含有一清洁区，内有一升降结构。一进料减压区，两端各设有一闸门，其中一闸门与清洁区连接。一真空镀膜区，两端各设有一闸门，其中一闸门与进料减压区连接。一出料增压区，两端各设有一闸门，其中一闸门与真空镀膜区连接。一取料反转区，与出料增压区连接，内设有一升降机构。一回流区，通反转区及清洁区，内设有一传送机构。 | ||
| 搜索关键词： | 内藏 静电 除尘 机构 连续 真空镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种内藏静电除尘机构连续式真空镀膜机，其特征在于，包含有：一清洁区，设于镀膜设备的一端，内有一升降结构以及一清理器；一进料减压区，具有一减压腔室，减压腔室的两端各设有一闸门，其中一闸门与清洁区连接；一真空镀膜区，具有一真空腔室，真空腔室的两端各设有一闸门，其中一闸门与进料减压区的减压腔室连接；一出料增压区，具有一增压腔室，增压腔室的两端各设有一闸门，其中一闸门与真空镀膜区的真空腔室连接；一取料反转区，具有一腔室，与出料增压区的增压腔室连接，腔室内设有一升降机构；一回流区，回流区是通反转区的内部空间及清洁区，回流区内设有一传送机构。
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