[发明专利]易清洁的精密光学平台有效

专利信息
申请号: 200510112023.2 申请日: 2005-12-27
公开(公告)号: CN1793813A 公开(公告)日: 2006-06-28
发明(设计)人: 朱健强;曾台英;黄宏彪;张涛 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01M11/04 分类号: G01M11/04;B01L9/02;B32B3/12
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种易清洁的精密光学平台,它由带有安装螺纹孔阵列的上面板、内部为蜂窝孔状的钢质夹芯层、带有与上面板阵列螺纹孔相对应的直孔的下面板和侧面板组成,上面板阵列螺纹孔和下面板相对应的孔之间通过连接管相连接,形成密封的通道。本发明与现有的光学平台相比较,固有频率不变,能有效的防止因外界杂质落入上面板安装螺纹孔中而导致夹芯层结构发生腐蚀,保持光学平台的洁净,确保高精度实验的使用要求,还能方便地对流入密封通道的固体或液体的污染物进行冲洗,因而能够延长光学平台的使用寿命,降低成本。
搜索关键词: 清洁 精密 光学 平台
【主权项】:
1、一种易清洁的精密光学平台,包括支撑的气垫弹簧、具有供安装用的阵列螺纹孔(2)的上面板(1)和蜂窝孔(5)的钢质的夹芯层(4),四周是侧面板(3),其特征是:还有与上面板(1)的阵列螺纹孔(2)一一对应的阵列直孔(8)的下面板(7),所述的夹芯层(4)位于所述的上面板(1)和下面板(7)之间,所述上面板(1)的阵列螺纹孔(2)和下面板(7)相对应的直孔(8)之间是连通管(6)。
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