[发明专利]确定用于表面检测的照射参数无效
| 申请号： | 200510109859.7 | 申请日： | 2005-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1776412A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | A·贝尔;D·奥尔巴齐 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 用于表面检测的装置，包括适于用照射光束照射所述表面的照射光学器件，所述照射光束具有可调偏振。该装置还包括至少一个检测器，每个检测器和各个分析器相连，所述分析器具有方向性，并且适于产生响应于通过分析器接收的表面上的被照射区的光的信号，至少一个检测器之一适于接收来自被照射区的散射光。该装置还包括一个控制器，其适于指导照射光学器件去照射被照射区，以及响应于由此在至少一个检测器中产生的校准信号，所述控制器适于设置可调偏振和每个检测器各个分析器的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 用于 表面 检测 照射 参数 | ||
【主权项】：
1.用于表面检测的装置，包括：照射光学器件，其适合使用具有可调偏振的照射光束照射所述表面。至少一个检测器，每个检测器与具有方向性的各个分析器相连，并且适于响应于通过所述分析器接收的来自所述表面上被照射区的光而产生信号，至少一个检测器之一适于接收来自被照射区的散射光；和控制器，其适于指导照射光学器件去照射被照射区，以及适于响应于由此在至少一个检测器中产生的校准信号、来设置可调偏振和每个检测器各个分析器的方向。
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