[发明专利]光图像计测装置

摘要

本发明提供一种光图像计测装置，可在短时间内进行包含双折射层的被测定物体的计测。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源、扩大光束径的透镜、将光束转换为直线偏光的偏光板、将光束分割为信号光和参照光的半透镜、将参照光转换为圆偏光的波长板、将朝向被测定物体的信号光形成圆偏光，将来自被测定物体的信号光形成直线偏光的波长板、使参照光进行频率位移的频率位移器、从参照光和信号光所生成的干涉光将偏光成分和偏光成分进行分离的偏光分光器、接受各偏光成分并输出含有其强度变化的信息的检测信号的、根据该强度变化的信息形成反映被测定物体的双折射的图像的信号处理部。

主权项

1、一种光图像计测装置，其特征在于其包括：光束输出装置，将光束周期性地进行强度调制并输出；光束径扩大装置，扩大前述光束的光束径；直线偏光装置，将前述光束的偏光特性转换为直线偏光；光束分割装置，将前述光束径扩大且转换为直线偏光的前述光束，分割为通过被测定物体的信号光和通过参照物体的参照光；参照光偏光装置，将直线偏光的前述参照光的偏光特性进行转换；信号光偏光装置，将通过前述被测定物体前的直线偏光的前述信号光的偏光特性进行转换，且将通过前述被测定物体后的前述信号光的偏光特性转换为直线偏光；频率位移装置，使前述信号光的频率和前述参照光的频率相对地进行位移；重叠装置，使利用前述频率位移装置相对地进行频率位移的，利用前述参照光偏光装置转换偏光特性的前述参照光，和利用前述信号光偏光装置转换为直线偏光的前述信号光进行重叠而生成干涉光；偏光成分分离装置，从前述生成的干涉光将不同的多数个偏光成分分离；检测装置，接受前述分离了的前述干涉光的各偏光成分，并输出含有前述各偏光成分的强度变化的信息的检测信号；信号处理装置，根据前述输出的检测信号所含有的前述各偏光成分的强度变化的信息，形成反映前述被测定物体的双折射的图像。