[发明专利]用于防止干涉式调制器静电放电的方法及装置无效
| 申请号： | 200510105831.6 | 申请日： | 2005-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN1755502A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 菲利浦·D·弗洛伊德 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21;G02B26/00;G09G3/34 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种MEMS装置，例如一干涉式调制器，其包括一能够将由所述MEMS装置中的一电导体载送的过电流分流接地的集成ESD保护元件。所述保护元件可为一个二极管，并可通过在形成所述MEMS装置的衬底上沉积复数个经掺杂的半导体层来形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 防止 干涉 调制器 静电 放电 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种MEMS装置，其包括：一可移动元件；一电导体，其经构造以载送一可有效地激励所述可移动元件的激励电流；及一保护元件，其以可操作方式附接至所述电导体，并经构造以至少部分地将由所述电导体载送的一过电流分流接地，所述可移动元件、电导体及保护元件集成于一衬底上。
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