[发明专利]过氟化物的处理方法无效
| 申请号： | 200510099903.0 | 申请日： | 2002-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1762552A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 玉田慎;薮谷隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | B01D53/70 | 分类号： | B01D53/70 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种处理从多个制造设备排出的过氟化物的处理方法，其特征在于下列步骤：分别通过具有检测装置的多个管路把过氟化物处理装置连接到排出过氟化物的制造设备上；对从分别具有流量计的管路提供的、从多个制造设备排出的过氟化物进行分解处理；以及对每一个制造设备，使用各个流量计的计测值推断或决定上述过氟化物的处理量。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化物 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种处理从多个制造设备排出的过氟化物的处理方法，其特征在于下列步骤：分别通过具有检测装置的多个管路把过氟化物处理装置连接到排出过氟化物的制造设备上；对从分别具有流量计的管路提供的、从多个制造设备排出的过氟化物进行分解处理；以及对每一个制造设备，使用各个流量计的计测值推断或决定上述过氟化物的处理量。
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