[发明专利]用于溅镀镀膜的阳极有效
| 申请号： | 200510090898.7 | 申请日： | 2005-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1737188A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 乔治·J.·欧肯法思;马克斯·K.·太尔西;理查德·I.·塞登;罗伯特·E.·哈恩 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼弗思公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅镀阳极，其中所述阳极的形式是容器或导管；且与阴极相互联系的导电表面是所述容器或导管的内表面。所述阳极可安装在镀膜腔的外部，所述阳极的开口与所述镀膜腔相互联系，或作为选择，所述阳极可以安装在所述腔内。所述阳极可以具有用于接收惰性气体的入口，所述惰性气体用于形成等离子体并用于为所述阳极加压。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 阳极 | ||
【主权项】：
1.用于材料溅镀的溅镀装置阳极，包括：包括至少一个阳极，所述阳极限定了一个容器，所述容器具有一个朝向导电内体的开口并具有一个外体，所述导电内体耦合到电压源，以提供所述溅镀材料与所述导电内体之间的电压差。
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