[发明专利]液晶显示装置基板的制造方法有效
| 申请号: | 200510088284.5 | 申请日: | 2005-08-03 |
| 公开(公告)号: | CN1716057A | 公开(公告)日: | 2006-01-04 |
| 发明(设计)人: | 周文彬;杨克勤 | 申请(专利权)人: | 广辉电子股份有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;G02F1/136 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王英 |
| 地址: | 台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种液晶显示装置基板的制造方法,包括以下步骤:(a)提供具有透明电极层和金属层的基板;(b)进行部分显影;(c)蚀刻光刻胶层以及具有透明电极层和金属层的基板,分别定义信号扫描线和薄膜二极管区域,以及像素区和电极导线,并且薄膜二极管区域具有间隙;以及(d)在金属层的部分表面上形成氧化层,并且氧化层填满薄膜二极管区域的间隙;本发明提供一种液晶显示装置基板的制造方法,利用一道掩膜板的光刻、蚀刻等图案化(Patterning)工艺,来完成液晶显示装置基板的制造,可同时得到提高优良率和产能的效果。 | ||
| 搜索关键词: | 液晶 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种液晶显示装置基板的制造方法,包括以下步骤:(a)提供具有透明电极层和金属层的基板,并且所述透明电极层位于所述金属层和所述基板之间;(b)形成具有图样的光刻胶层,并且该光刻胶层具有至少第一厚度和第二厚度;(c)蚀刻该光刻胶层以及具有透明电极层和金属层的所述基板,分别定义信号扫描线和薄膜二极管区域,以及像素区和电极导线,其中所述薄膜二极管区域包含所述透明电极层以及所述金属层,并且所述薄膜二极管区域具有间隙;以及(d)在所述金属层的部分表面上形成氧化层,并且所述氧化层填满所述薄膜二极管区域的所述间隙。
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