[发明专利]探针板、使用其的检查方法及由该方法检查的半导体装置无效
| 申请号： | 200510088105.8 | 申请日： | 2005-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1782716A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 藤井大辅 | 申请（专利权）人： | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 浦柏明;叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种装置，使探针板的测定探针的过压量合适并使接触压稳定，进而实现接触电阻的减少。本发明的探针板具备：测定探针，与半导体晶片上形成的半导体元件的端子相接触；以及基板，用于装配测定探针，其中，在基板的测定探针的探针设置区域外侧的区域上设置虚探针，将该虚探针的端部的端面作为基准面，该基准面成为设定半导体晶片的端子与测定探针的尖端之间间隔的基准。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 使用 检查 方法 半导体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针板，具备：测定探针，与半导体晶片上形成的半导体元件的端子相接触；以及基板，用于装配该测定探针，其特征在于，在上述基板的上述测定探针的外侧的区域上设置虚探针，将该虚探针的端部的端面作为基准面，该基准面成为设定上述半导体晶片的端子与上述测定探针的尖端之间间隔的基准。
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