[发明专利]液－液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法

摘要

本发明一种液－液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法，装配过程在液－液界面进行，可将大批量微器件同时装配到基片的组装位置。微器件的自组装，包括基片和微器件的制备、处理和组装环境、方法的选择。对微器件各个表面进行亲水、疏水化处理，使其以特定形态聚集在液－液界面中央，再使基片自上而下垂直通过该液－液界面，微器件会附着在基片表面。通过超声震动，微器件到达与之形状匹配的基片组装位置，利用组装位置的磁性材料的吸引力，使基片与微器件牢固结合。基片依次通过漂浮着不同微器件的不同界面，不同的组装位置通过形状或尺寸识别微器件，从而分批组装不同微器件，实现混合结构系统。本发明的优点是效率高、成本低、应用范围广泛。

主权项

1.一种液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法，可将大批量的微米到毫米量级的微器件进行自组装，其特征在于，包括下列步骤：a、对微器件不同表面有选择地进行亲水、疏水化处理；b、使用两种表面能和密度相差都很大的液体组成混合液体，并置入容器中，而形成一层清晰的液-液界面；c、将微器件放入容器的混合液体中，使其漂浮在液-液界面，并聚集在界面中央；d、将基片自上而下垂直通过液-液界面，漂浮的微器件即附着到基片表面；e、通过超声震动，使微器件的组装位置到达基片组装位置，组装位置的磁性材料的磁力使基片与微器件牢固结合。