[发明专利]切割基板的装置及其使用方法有效
| 申请号： | 200510080124.6 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1768999A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 朴正权 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/08;B23K26/067;B23K26/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用来切割基板的装置，包括产生飞秒激光束的激光振荡器，将飞秒激光束分离成第一和第二飞秒激光束的第一分束器；接收第一飞秒激光束并汇聚第一飞秒激光束达到第一聚焦深度的第一聚光透镜，接收第二飞秒激光束并汇聚第二飞秒激光束达到不同于第一聚焦深度的第二聚焦深度的第二聚光透镜，以及第二分束器，用来接收并且分离通过第一聚光透镜汇聚的第一飞秒激光束和通过第二聚光透镜汇聚的第二飞秒激光束，并将分离的第一和第二飞秒激光束照射在待切割基板上的不同位置。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种用来切割基板的装置，包括：产生飞秒激光束的激光振荡器；将飞秒激光束分离成第一和第二飞秒激光束的第一分束器；接收第一飞秒激光束并汇聚第一飞秒激光束达到第一聚焦深度的第一聚光透镜；接收第二飞秒激光束并汇聚第二飞秒激光束达到不同于第一聚焦深度的第二聚焦深度的第二聚光透镜；以及第二分束器，用来接收并且分离通过第一聚光透镜汇聚的第一飞秒激光束和通过第二聚光透镜汇聚的第二飞秒激光束，并将分离的第一和第二飞秒激光束照射在待切割基板上的不同位置。
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