[发明专利]多晶硅的生产装置有效
| 申请号： | 200510078600.0 | 申请日： | 2001-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1699161A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 若松智;小田开行 | 申请（专利权）人： | 德山株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 多晶硅的制造装置，具有在筒状容器中进行硅的析出·熔融、氯硅烷类的供给管被插到筒状容器内的硅熔融区，在筒状容器与氯硅烷类的供给管的间隙中供给密封气体。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 装置 | ||
【主权项】：
1.多晶硅的生产装置，其特征在于具备：(a)下端具有成为硅取出口的开口部分的筒状容器、(b)将从该筒状容器的下端到相当于筒状容器全长的20～90％长度的高度的筒状容器内壁加热到硅熔点以上温度的加热装置、(c)由具有外径比该筒状容器内径小的内管所构成、将该管一端的开口在加热到硅熔点的温度以上的内壁所包围的空间中，设置成口朝下所构成的氯硅烷供给管，及(d)在由该筒状容器的内壁与氯硅烷供给管的外壁所形成的间隙中通入密封气体的第1密封气体供给管。
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