[发明专利]一种用高温气相法制备晶体的坩埚及其使用方法无效

专利信息
申请号: 200510078273.9 申请日: 2005-06-08
公开(公告)号: CN1876899A 公开(公告)日: 2006-12-13
发明(设计)人: 武红磊;郑瑞生;鲁枫;孙秀明 申请(专利权)人: 郑瑞生;武红磊
主分类号: C30B23/06 分类号: C30B23/06;F27B14/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518060广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种用高温气相法制备晶体的坩埚及其使用方法。为解决用高温气相法制备晶体的过程中,由于传热效率低而导致受热的固体粉料气化率较低,而且在坩埚内也不易形成有效的温度梯度的问题,本发明通过改变坩埚的内部形状,使坩埚的内径上大下小,通过特殊的工艺方法,使物料在加热过程中始终与坩埚壁紧密接触,实现了高效的传导型传热,并提供所需的温度梯度,制备较大尺寸的晶体。
搜索关键词: 一种 高温 法制 晶体 坩埚 及其 使用方法
【主权项】:
1、一种用高温气相法制备晶体的密封式坩埚,坩埚由埚体[1]、埚盖[2]组成,其特征在于坩埚盖直接压在坩埚顶部。
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