[发明专利]制造管理系统及方法

摘要

本发明涉及一种制造管理系统及方法，所述半导体制造管理系统，包括一个处理单元接收含有将于一个晶圆批次执行新工程作业的工程变更请求，产生含有工程变更请求的工程变更请求提醒，透过通讯装置传递工程变更请求提醒至一客户端处理人员，接收相应于工程变更请求提醒的回复，借由侦测回复决定工程变更请求是否被接受的回复结果，以及传递回复结果至一个制造执行系统。本发明所述制造管理系统及方法可以缩短工作时间，降低错误率，进而提高工作效率。

主权项

1、一种制造管理系统，所述制造管理系统包括：一个通讯装置；以及一个处理单元用以接收一个含有将于一个晶圆批次执行一个新工程作业的工程变更请求，产生含有上述工程变更请求的一个工程变更请求提醒，透过上述通讯装置传递上述工程变更请求提醒至一客户端处理人员，接收相应于上述工程变更请求提醒的一个回复，借由侦测上述回复决定上述工程变更请求是否被接受的一个回复结果，以及传递上述回复结果至一个制造执行系统，使得上述制造执行系统得以指示至少一部制造机台于上述晶圆批次上执行上述新工程作业。