[发明专利]提供偏振图案的设备有效
| 申请号： | 200510072988.3 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1702492A | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·M.·阿伯特 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G02B5/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及偏振图案照射。偏振图案装置产生偏振图案。在一个实施例中，偏振图案装置包含框架，它支承框架中心区的偏振片。偏振片改变光入射到偏振片上的偏振方向。在偏振光照明器光瞳上可以产生不同的偏振图案。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 偏振 图案 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用在有光瞳的照明器上的偏振图案装置，包括：(a)框架；和(b)至少一个偏振片，耦合到所述框架，每个偏振片改变传输通过的光的偏振方向，从而在照明器光瞳上可以得到至少一个偏振图案。
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