[发明专利]加速度开关有效

专利信息
申请号: 200510071242.0 申请日: 2005-05-13
公开(公告)号: CN1697108A 公开(公告)日: 2005-11-16
发明(设计)人: 旭辉·史蒂文·陈;稔欢·艾伯特·邱;卡尔·A·罗斯 申请(专利权)人: 摩托罗拉公司
主分类号: H01H35/14 分类号: H01H35/14;H01H11/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 樊卫民;钟强
地址: 美国伊*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种加速度开关及其方法,包括提供传导基板(10)和绝缘顶盖(16)。在绝缘顶盖(16)中形成了凹陷区域。绝缘层(12)安置在基板(10)上。传导层(14)安置在绝缘层(12)上。对传导层(14)进行刻蚀以形成悬梁(34)和电气隔离岛(40)。在悬梁(34)周围对绝缘层(12)进行刻蚀以释放悬梁(34)使之移动。触点安置在悬梁(34)上和凹陷区域中,由此在向开关施加加速度时,触点能够相互电气接触。顶盖(16)接合到传导层(14),用以密封悬梁(34)。
搜索关键词: 加速度 开关
【主权项】:
1.一种用于制造加速度开关的方法,包括步骤:提供(70)基板(10)和绝缘顶盖(16);在绝缘顶盖(16)中形成(71)凹陷区域;在基板(10)上安置(72)电绝缘层(12);在绝缘层(12)上安置(73)传导层(14);刻蚀(76)传导层(14)以在其中形成悬梁(34)和电气隔离岛(40);在悬梁(34)周围刻蚀(78)绝缘层以释放悬梁(34)使之在加速过程中偏转;在悬梁(34)上安置第一触点,并且在绝缘顶盖(16)的凹陷区域中安置第二触点,由此在组装加速度开关时,触点将位于相互邻近的位置,并且在向开关施加加速度时,其能够相互电气接触;以及使顶盖(16)同传导层(14)接合(80),用以密封悬梁(34)。
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