[发明专利]传感元件的隔离方法和装置无效
| 申请号： | 200510065141.2 | 申请日： | 2005-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1677706A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | R·S·莱万多夫斯基;L·S·史密斯;C·E·鲍姆加特纳;D·M·米尔斯;D·G·维尔德斯;R·A·菲舍尔;G·C·索戈伊安 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H02N1/00;A61B8/00;G01N29/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种装置，它包括设置在具有半导体表面的衬底(4)内或衬底(4)上的传感器(2，39，40)阵列和用于将每个传感器与其相邻传感器相隔离的装置(26，28，30，32，34，36，38或40)。在所述传感器是超声换能器元件的情况下，以相邻换能器元件之间的沟槽形式提供声隔离，以降低声串扰。可以用声衰减材料充填所述沟槽。在相邻换能器元件之间以半导体结的形式提供电隔离，以降低电串扰。在一个实例中，通过在相邻换能器元件之间的区域内进行离子注入来形成背对背pn结。这些类型的隔离可以单独采用，也可一起采用。 | ||
| 搜索关键词： | 传感 元件 隔离 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种传感器件，它包括：多个传感元件(2，39，40)，它们排列在衬底的正面，每个所述传感元件与所述衬底材料相接触；以及多个阻挡体(26，28，30，32，34，36，38或46)，它们排列在所述衬底的所述材料中，以降低任何所述传感元件之间的能量形式的耦合，每个阻挡体对于落到其上的所述能量形式的传播构成障碍。
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