[发明专利]单晶炉的保温装置

摘要

本发明涉及一种单晶炉的保温装置。该装置具有热屏、保温罩和保温炉底。保温罩为碳纤维或石墨制成的中空柱体，保温罩设置在保温炉底的上端，热屏设置在保温罩的上端。本发明的碳纤维制成的保温罩和保温炉底，大大降低了单晶炉的使用功率，相对于现有的单晶炉可节能20％至30％；同时使单晶炉中的熔硅和晶体具有较好的纵向温度梯度，利于提高单晶硅晶体生长的成品率。当保温炉底上还具有碳毡制成的隔温层时，能进一步提高保温性能。当在隔温层上设置压片，在隔温层的轴孔和电源孔处设置空心隔离圆柱时，能提高的受压强度，同时隔温层中的碳毡不易变形，延长了使用寿命。当保温裹层裹绕在保温罩外侧时，能提高单晶炉侧面的保温性能。

主权项

1、一种单晶炉的保温装置，具有圆柱形保温罩(4)和置于保温罩(4)顶端的倒置圆锥台形的热屏(1)，其特征在于：保温罩(4)底端设有保温炉底(7)；所述的保温罩(4)为碳纤维或石墨制成的中空柱体。