[发明专利]可选择射束电流和能量分布的粒子源有效
| 申请号： | 200510051944.2 | 申请日： | 2005-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1658331A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | J·奇梅里克;A·亨斯特拉 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G21K1/00 | 分类号： | G21K1/00;G21K1/02;G02B3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种能够进行能量选择的粒子源。能量选择是通过使带电粒子束(13)偏心通过透镜(6)。由于这种方式，在经透镜(6)所形成的像15内出现能量扩散。通过将像(15)投射到光阑(7)上，可仅允许能谱内有限部分的粒子通过。因此，通过的射束(16)具有减小的能够分布。通过增设偏转单元(10)，该粒子束(16)能够向光轴偏转。还可选择向光轴偏转通过透镜(6)中央的(例如具有较大射束电流的)射束(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 可选择 电流 能量 分布 粒子 | ||
【主权项】：
1.一种设有粒子源的粒子-光学装置，该粒子源做成可产生至少一个带电粒子束(16)，所述粒子源具有：一个用以发射带电粒子的粒子发射面(1)；一个用以形成所述粒子发射面(1)的像(15)的透镜(6)；一个用以限制所述带电粒子束的限束光阑(3)；以及一个位于所述像(15)处的能量选择光阑(7)，其特征在于，所述限束光阑(3)做成使所述粒子束(16)偏心通过所述透镜(6)。
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