[发明专利]空间曲线型长距离微细管道内表面形貌测量仪及检测方法

摘要

本发明公开了一种空间曲线型长距离微细管道内表面形貌测量仪及检测方法。该管道内表面形貌测量仪主要由二维位置传感器、半导体激光器、透明窗、微型马达、扫描镜、反射镜、会聚透镜、接收透镜组等部分组成。从激光器出射的光束经过两次反射后在管道内壁上形成一个细小光斑，该光斑被二维位置传感器接收。根据二维位置传感器产生的电流信号以及测量仪的结构参数，计算出该光斑点在局部三维坐标系中的位置。微型马达带动扫描镜旋转一周，得到管道内壁一个截面上所有采样点的位置。该测量仪适用于内径为Φ9～Φ11mm，曲率半径大于100mm的曲线型微细管道内壁的缺陷检测和三维测量，测量精度可以达到±0.1mm。

主权项

1、一种空间曲线型长距离微细管道内表面形貌测量仪，其特征在于：它具有依次相连接的二维位置传感器基座(17)、透明窗(3)、激光器基座(7)，在透明窗(3)内固定有马达固定环(4)，在马达固定环(4)上固定有依次连接的微型马达(15)、扫描镜座(14)、扫描镜(5)，在二维位置传感器基座(17)上依次安装有二维位置传感器压圈(1)、二维位置传感器(19)、接收透镜组(16)，在二维位置传感器基座(17)外侧固定有触角固定环(18)、触角调节螺片(12)在触角固定环(18)上固定有弹性触角(2)，在激光器基座(7)上依次安装有激光器调节螺钉(10)、激光器压圈(9)、半导体激光器(8)、弹性垫圈(11)、会聚透镜(6)、反射镜(13)，在激光器基座(7)外侧固定有触角固定环(18)、触角调节螺片(12)在触角固定环(18)上固定有弹性触角(2)。