[发明专利]化学放大的阳性抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物。本发明还提供可用作化学放大的阳性抗蚀剂组合物的组分的酯衍生物以及生产该酯衍生物的方法。

主权项

1.一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含：(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物其中Z表示含有2-14个碳原子的烃基，并且除与跟Z相邻的其它基团连接的一个-CH₂-之外的至少一个-CH₂-可以被-O-取代；A表示含有3-14个碳原子的二价脂环烃基团；W表示氢原子、含有1-12个碳原子的烷基、含有2-12个碳原子的烷氧基烷基，或式(II)表示的基团其中X表示二价的连接基团，R表示氢原子、含有1-6个碳原子的烷基或含有3-6个碳原子的环烷基，Y表示与相邻的碳原子一起形成脂环烃基团所需的原子并且包括4-12个碳原子，并且在脂环烃基团中至少有一个-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，在该脂环烃基团中的至少一个氢原子可以被含有1-4个碳原子的烷基、含有1-4个碳原子的烷氧基、三氟甲基、羟基或氰基取代，l表示0或1，以及每个m和n表示满足下列不等式的整数，0≤m≤13，1≤n≤14，2≤m+n≤14，和当n等于或大于2时，每个A是相同或不同的，还有每个W也是相同或不同的。