[发明专利]用于钼的化学蚀刻溶液无效
| 申请号： | 200510044853.6 | 申请日： | 2005-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1743509A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 徐海波;王佳;王伟;姜应律;王燕华 | 申请（专利权）人： | 中国海洋大学 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 青岛海昊知识产权事务所有限公司 | 代理人： | 崔清晨 |
| 地址： | 266003山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％－35％、硝酸5％－25％、水40％－90％；所述的硫酸浓度为95％－98％、硝酸的浓度为65％－68％。它还可以含有一种添加剂乙二胺四乙酸二钠，该添加剂的浓度为0.01－1g/L。本发明的蚀刻溶液可在常温下使用，具有腐蚀速度快，侧蚀小，使用寿命长和加工成本低等优点，即使在静止溶液中也可实现钼的快速蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 蚀刻 溶液 | ||
【主权项】：
1一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％-35％、硝酸5％-25％、水40％-90％；所述的硫酸浓度为95％-98％、硝酸的浓度为65％-68％。
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