[发明专利]多功能复合磁控等离子体溅射装置

摘要

本发明属于表面处理技术领域，具体的说是多功能复合磁控等离子体溅射装置，包括主真空腔体(1)、附真空腔体(2)、闸板阀(3)、磁力传输杆(4)、气体流量控制器(9)、主真空腔体进气管(10)、主真空腔体抽真空接口管(5)、主真空腔体抽真空闸板阀(6)、分子泵(7)、机械泵(8)、附真空腔体进气管(11)、附真空腔体抽真空接口管(12)、观察窗(13)。本发明与现有技术相比，采用了模块化设计思想及整体控制模式，除使薄膜沉积的质量得以改善外，也使薄膜沉积的整个过程缩短，同时制造成本大幅降低，大大提高生产效率。

主权项

1.多功能复合磁控等离子体溅射装置，包括主真空腔体(1)、附真空腔体(2)、闸板阀(3)、磁力传输杆(4)、气体流量控制器(9)、主真空腔体进气管(10)、主真空腔体抽真空接口管(5)、主真空腔体抽真空闸板阀(6)、分子泵(7)、机械泵(8)、附真空腔体进气管(11)、附真空腔体抽真空接口管(12)、观察窗(13)；其特征在于：磁力传输杆(4)的一端连接附真空腔体(2)的一端，附真空腔体(2)的另一端连接闸板阀(3)的一端，闸板阀(3)的另一端连接主真空腔体(1)的一端，主真空腔体(1)的另一端连接观察窗(13)，主真空腔体底部的主真空腔体进气管(10)连接气体流量控制器(9)的一端，气体流量控制器(9)的另一端连接附真空腔体底部的附真空腔体进气管(11)，主真空腔体的底部连接主真空腔体抽真空接口管(5)的上端口，主真空腔体抽真空接口管(5)的下端口连接主真空腔体抽真空闸板阀(6)的一端，主真空腔体抽真空闸板阀(6)的另一端连接分子泵(7)，分子泵(7)的前级连接机械泵(8)，主真空腔体抽真空接口管(5)的一端连接附真空腔体抽真空接口管(12)的一端口，附真空腔体抽真空接口管(12)的另一端口连接附真空腔体的底部。