[发明专利]一种新型的材料镀膜方法及装置无效
| 申请号： | 200510025365.0 | 申请日： | 2005-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1854331A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 孙润光 | 申请（专利权）人： | 孙润光 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201800上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及气相沉积的方法和装置，尤其涉及有机材料气相沉积的方法和实现这种方法的热源装置，其中用辐射非接触式加热方式替代电阻接触式加热方式；把辐射热源置于一面凹面镜的一个焦点上，把光聚焦并投射在放在另一个焦点上的有机样品上。有机材料盛在可透过辐射波长的容器中，在容器上方开有一开口可使有机材料蒸出并限制蒸发束流角度，这样可以提高材料利用率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 材料 镀膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种新型的有机材料气相沉积的加热方法，其特征在于，用辐射非接触式加热代替电阻接触式加热方式；把辐射源置于一面凹面镜的一个焦点上，把光聚焦并投射在放在另一个焦点上的有机材料上，有机材料盛在可透过辐射波长的容器中，在容器上方设有一开口用于有机材料蒸出并通过导流板限制蒸发束流的角度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于孙润光，未经孙润光许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510025365.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：防伪涂布纸板及其生产方法
- 下一篇：一种控制字幕显示方式的实现方法和装置
- 同类专利
- 专利分类
