[发明专利]自供能微型振动传感器

摘要

本发明涉及一种微型自供能振动传感器，主要包括MEMS可变电容器、驻极体和处理电路。其中，MEMS可变电容器由一个动极板和两个定极板所构成。动极板由悬臂梁、质量块以及在质量块两侧形成的两组叉指组成。定极板上各有一组叉指。动极板两组叉指分别与两个定极板上的叉指分别相对，形成两个可变电容。两个定极板上分别设有引出电极，动极板上设有动极板引出电极。上述电极经线路连接处理电路。本发明是一种高集成度、长寿命、体积小、无需外部供电、不受声压影响的微型自供能振动传感器，可以应用于电动车、摩托车、汽车等车辆防盗报警的装置相配套使用的振动传感装置以及其他振动检测领域，具有极为广泛的用途。

主权项

1、自供能微型振动传感器，其特征在于：它由MEMS可变电容器、驻极体和处理电路构成；MEMS可变电容器由一个动极板和两个定极板构成；动极板由悬臂梁、质量块以及在质量块两侧形成的两组叉指组成；定极板上各有一组叉指，分别与动极板的两组叉指相对，形成两个可变电容；两定极板上分别有引出电极，经电极线连接处理电路；驻极体黏贴在动极板的质量块上或在质量块上直接加工形成，其单面电极引出到处理电路。