[发明专利]利用微透镜或微棱镜阵列进行扫描的光学相干层析系统

摘要

利用微透镜或微棱镜阵列进行扫描的光学相干层析系统，主要由光源、准直透镜、分光棱镜、多路光纤耦合装置、3片微透镜或微棱镜阵列、快速延迟线、探测器阵列、微位移装置组成，在多路光纤耦合装置的输出端通过一片微透镜或微棱镜阵列把多路光纤中的点光源变成空间光路中的平行光束，然后被第二片微透镜或微棱镜阵列聚焦到物体上，物体上的反射光束在分光棱镜上和被快速扫描延迟线反射回来的光相遇，当这两束光的光程相等的时候发生干涉，最终干涉信号通过第三片微透镜或微棱镜阵列被聚焦到探测器阵列上。本发明通过使用微透镜或微棱镜阵列在大大的提高了光学相干层析系统的扫描速度，减少获取三维层析图像的获取时间，降低了系统成本。

主权项

1、利用微透镜或微棱镜阵列进行扫描的光学相干层析系统，其特征在于：主要由光源(1)、准直镜(2)、分光棱镜(3)、微透镜或微棱镜阵列(4)和多路光纤(5)组成的多路光纤耦合装置(15)、第一片微透镜或微棱镜阵列(6)、第二片微透镜或微棱镜阵列(7)、目标物体(8)、第三片微透镜或微棱镜阵列(13)、探测器阵列(14)、微位移装置(17)以及快速扫描延迟线(16)组成，第一片微透镜或微棱镜阵列(6)、第二微透镜或微棱镜阵列(7)以及多路光纤耦合装置(15)的尾端都固定在微位移装置(17)上，在多路光纤耦合装置(15)的输出端通过第一片微透镜或微棱镜阵列(6)把多路光纤(5)中的点光源变成空间光路中的平行光束，然后被第二片微透镜(7)阵列聚焦到目标物体(8)上，目标物体(8)上的反射光束在分光棱镜(3)上和被快速扫描延迟线(16)反射回来的光相遇，当这两束光的光程相等的时候发生干涉，最终干涉信号通过第三片微透镜或微棱镜阵列(13)被聚焦到探测器阵列(14)上。