[发明专利]片式化的二维压电光反射结构

摘要

本发明属于精密机械中光驱动技术领域，其特征在于，它含有：由一组压电陶瓷片与基片构成的复合悬臂梁，压电陶瓷片有二个电极区；铰链；反射镜片及镜框；支撑框架。镜框经铰链与基片相连，基片依靠支撑框架固定。当电源正极与两组电极区并联，电源负极与基片相连，使复合悬臂梁产生弯曲变形；当电源正极与负极分别与两组电极区相连，使复合悬臂梁产生扭转变形。复合悬臂梁也可以由四个呈十字对称分布的悬臂梁构成，而反射镜片处于十字对称中心；也可由两个相垂直的悬臂梁构成，反射镜片位于垂直交点处；镜框同时也可与支撑框架相连。本发明具有结构简单、驱动电压低、响应快、振颤小、无电磁干扰、无间隙、无摩擦损耗的优点。

主权项

1.片式化的二维压电光反射结构，其特征在于，该结构包含：(1)复合悬臂梁，由一块基片以及位于该基片同侧的一组压电陶瓷片固定连接形成，该压电陶瓷片上有两个电极区，它们在被沿厚度方向极化后所形成的两个对应的极化区内的极化方向相同；(2)铰链，该铰链的一侧与所述基片的一侧活动连接；(3)反射镜片，该镜片固定在一个镜框内，该镜框与所述铰链的另一侧相连；(4)支撑框架，该框架与所述基片的另一侧固定连接；当激励信号正极与两组电极区并联，而负极与所述基片相连时，该复合悬臂梁产生相对于所述基片平面的弯曲变形；当激励信号正极和负极分别与所述两组电极区相连，该复合悬臂梁产生以所述复合悬臂梁长轴为中心线的扭转变形。