[发明专利]基于金属微纳结构的光谱选择功能元件的设计方法

摘要

基于金属微纳结构的光谱选择功能元件的设计方法，通过对金属膜层不同区域微纳结构的尺度、深度及周期进行调制，可实现纳米量级的透射或反射分立和连续波长的选择。与传统方法相比，本发明可以实现超小、超薄型的单层膜滤波、分光及辐射谱定标器件。通过设计金属膜层微纳结构尺寸、深度、分布及间距，可以在指定位置实现指定光波波长的透射，出射选择光波可以与器件表面垂直，可以只用单层膜代替传统如用作波分复用，未来器件成本可以大幅度降低；通过设计金属表面不同区域凹孔大小及间距，可以在指定位置实现指定光波波长的透射；仅利用一个器件即可实现波长选择功能，因此可在系统中实现即插即用。

主权项

1、基于金属微纳结构的光谱选择功能元件的设计方法，其特征在于：通过下列步骤实现：(1)根据所需透射光的光波波段范围选择基底材料和金属材料，并确定金属层厚度，通常取透射光谱中心波长的一半作为金属层厚度，并在基底材料表面蒸镀相应厚度的金属层；(2)在金属层表面设置不同周期排布的通孔，通常取透射光谱中心波长的一半作为金属通孔直径，并通过调节不同区域金属通孔的周期，在不同区域获得不同的透射波长，从而实现透光波长或反射波长的选择；(3)利用现有微加工方法在金属层表面制作出一系列的通孔，从而实现不同区域透射不同的波长。