[发明专利]用以固定抛光基材的吸附片材及其制造方法及抛光装置有效
| 申请号： | 200510004978.6 | 申请日： | 2005-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1814411A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;赵征祥;姚伊蓬;李志仁;洪永璋 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 台湾省高雄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种吸附片材制造方法，包含下列步骤：提供一载体，形成具有聚氨酯树脂的一涂布层于该载体上，然后凝固、水洗及烘干该涂布层，以制得一连通多孔性片材；以及藉由一平坦化制程平坦该连通多孔性片材的表面，以制得一连通多孔性吸附片材，其中该片材表面的不平坦度小于10μm。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 固定 抛光 基材 吸附 及其 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用以固定抛光基材的吸附片材制造方法，其特征在于：包含下列步骤：a.提供一载体，形成具有聚氨酯树脂之一涂布层于该载体上，然后凝固、水洗及烘干该涂布层，以制得一连通多孔性片材；以及b.藉由一平坦化制程将该连通多孔性片材的表面予以平坦化，以制得一连通多孔性吸附片材，其中该片材表面的不平坦度小于10μm。
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