[发明专利]被检查体的外观检查装置有效
| 申请号： | 200510003553.3 | 申请日： | 2005-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1808058A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 秋山吉宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社先机 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于缩短基板等被检查体的检查时间。在基板(2)的外观检查装置上，第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的一面进行扫描。第3摄像单元(30c)及第4摄像单元(30d)配置成夹着基板(2)与第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)对向，通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的另一面进行扫描。基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各单元与基板(2)相对移动。在基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各个单元与基板(2)相对移动的一次的移动工序中，摄像单元(30)的各个单元完成对基板(2)的扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 外观 装置 | ||
【主权项】：
1.一种被检查体的外观检查装置，其特征在于，包括：通过与被检查体相对移动，扫描被检查体一面的第1扫描单元；配置成夹着被检查体与第1扫描单元对向，并通过与被检查体的相对移动，扫描被检查体另一面的第2扫描单元；以及使所述第1扫描单元及所述第2扫描单元与被检查体相对移动的移动手段，所述移动手段在使被检查体与所述第1扫描单元及所述第2扫描单元相对移动一次的移动工序中，所述第1扫描单元及所述第2扫描单元完成对被检查体的扫描。
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