[发明专利]等离子体发生用电源装置有效

专利信息
申请号: 200480042632.9 申请日: 2004-10-18
公开(公告)号: CN1926927A 公开(公告)日: 2007-03-07
发明(设计)人: 民田太一郎;岩田明彦;和田升;峯慎吾;中谷元 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24;H05H1/46;C01B13/11;H01L21/3065;H01T23/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 曲瑞
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的是获得一种在最大额定条件下以功率因数尽可能高的条件进行驱动,即便在使投入功率变化的情况下也能够始终稳定地使之动作的等离子体发生用电源装置。本发明的等离子体发生用电源装置具有:被连接到交流电源(PS)的变压器(TR);被连接到变压器(TR)的整流器(RE);被连接到整流器(RE)的逆变器(IV);被串联插入到从逆变器(IV)供给电力的臭氧发生器(1)的功率线的电抗器(FL);以及控制逆变器(IV)的控制装置(CT)。控制装置(CT)用电流检测器(DT)来检测流入臭氧发生器(1)的电流,并进行控制以使臭氧发生器1的投入功率保持恒定。
搜索关键词: 等离子体 发生 用电 装置
【主权项】:
1.一种驱动使等离子体发生的放电负载(1)的等离子体发生用电源装置,其特征在于,包括:对上述放电负载供给电力的交流电源(IV);以及可以控制上述交流电源的交流输出的频率的控制装置(CT),其中,上述控制装置(CT)以依照针对上述放电负载(1)的目标投入功率使上述交流电源(IV)的电源频率变化的方式来进行控制。
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