[发明专利]具有成型表面的固定环有效
| 申请号： | 200480033387.5 | 申请日： | 2004-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1910012A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 宏·沁·陈;史蒂文·M·祖尼格;查尔斯·C·加雷特森;道格拉斯·R·迈克里斯特;斯泰西·迈耶;林建;西德尼·P·哈伊;俊宏·欧;特伦格·T·多安;杰弗里·施密特;马丁·S·沃勒特;凯瑞·F·休斯;詹姆士·C·王;丹尼·卡姆·端·陆;罗麦恩·比优·迪拉曼尼;文克塔·R·巴拉格尼;亚丁·马丁·艾伦;迈克尔·乔恩·方 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 可以通过机械加工或研磨环的底表面以在底表面中形成成型轮廓来使固定环成型。固定环的底表面可以包括平坦、倾斜或弯曲的部分。可以使用专用于研磨固定环的底表面的机械来实现研磨。在研磨期间，环可以被允许绕环的轴线自由旋转。固定环的底表面可以具有弯曲的或平坦的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 成型 表面 固定 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械抛光器的固定环，包括：基本圈形的主体，所述主体具有顶表面、内径表面、外径表面和底表面，其中所述底表面具有凸起形状，且其中在所述底表面上的高度差在0.001mm与0.05mm之间。
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