[发明专利]刷洗机箱及其使用方法有效
| 申请号： | 200480031861.0 | 申请日： | 2004-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1874854A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·尤德夫斯基;艾维·特普曼;肯尼思·R·雷诺兹;尤尼斯·阿奇尔;丹·A·马罗赫;史蒂夫·G·查那耶姆;亚历山大·S·波尔雅克;加里·厄廷格;浩川·张;会·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种刷洗机箱(101)，其包括：槽(103)，适合于接收基片(W)以便对其进行清洗；支撑(107、109)，位于槽的外部并且适合于连接到设置在该槽内部的刷洗机刷(106a，106b)的端部；马达(111)，安装到每一支撑并且适合于转动该刷洗机刷；底座，所述支撑通过球形轴承(127)枢转地安装到该底座，球形轴承适合于允许刷洗机刷前端内收；刷间隙致动器，适合于通过曲柄摇杆机构(117)使所述支撑基本上同时相向或者相背地枢转，以允许所述刷洗机刷基本上同时实现与基片的接触或断开接触；前端内收致动器，适合于使球形轴承中的两个相向或者相背地移动，以调节所述刷洗机刷之间的前端内收角。 | ||
| 搜索关键词： | 刷洗 机箱 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种设备，包括：连杆机构，适合于支撑刷洗机刷，该连杆机构包括：底座、枢转地连接到该底座的第一刷支撑和枢转地连接到该底座的第二刷支撑；致动器，适合于一致地枢转该第一、二支撑，使得由该第一、二刷支撑支撑的刷洗机刷近似同时地实现与基片的各主表面相接触或断开接触。
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