[发明专利]用于膨胀热等离子体的电感耦合的系统和方法有效
| 申请号： | 200480015891.2 | 申请日： | 2004-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1802723A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 马克·谢普肯斯 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体生成系统(300)，其包括用于生成热等离子体的等离子体生成设备(316)；处于所述等离子体生成设备(316)外的等离子体处理室(318)，其用于接收来自等离子体生成设备(316)的热等离子体，并且，在生成等离子体的过程中，保持等离子体处理室(318)内的压力小于等离子体生成设备(316)中的压力，从而引起热等离子体在等离子体处理室(318)内膨胀；以及用于对所述热等离子体进行电感耦合的电感系统(330，332，333)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 膨胀 等离子体 电感 耦合 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体生成系统(300)，包括：用于生成热等离子体的等离子体生成设备(316)；处于所述等离子体生成设备(316)以外的等离子体处理室(318)，其接收来自等离子体生成设备(316)的热等离子体，并且，在生成等离子体的过程中，保持等离子体处理室(318)内的压力低于等离子体生成设备(316)中的压力，从而引起热等离子体在等离子体处理室(318)内部膨胀；以及用于对所述热等离子体进行电感耦合的电感系统(330，332，333)。
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