[实用新型]曝光台X向和Y向定位减震装置无效
| 申请号： | 200420109991.9 | 申请日： | 2004-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN2766336Y | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 黄剑峰 | 申请（专利权）人： | 上海永新彩色显像管股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/14 | 分类号： | H01J9/14 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 200237*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种曝光台X向和Y向定位减震装置，其特征在于，由置台板、上台面板、Y向直线轴承、中间置板、底部置板、拉簧、X向直线轴承组成，置台板置于上台面板上面，在上台面板和中间置板之间设有Y向直线轴承和拉簧，在中间置板和底部置板之间设有拉簧和X向直线轴承。本实用新型的优点是杜绝因摩擦力过大推不紧的现象，不会使荫罩面产生震动而影响曝光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 定位 减震 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曝光台X向和Y向定位减震装置，其特征在于，由置台板(5)、上台面板(6)、Y向直线轴承(7)、中间置板(8)、底部置板(9)、拉簧(10)、X向直线轴承(11)组成，置台板(5)置于上台面板(6)上面，在上台面板(6)和中间置板(8)之间设有Y向直线轴承(7)和拉簧(10)，在中间置板(8)和底部置板(9)之间设有拉簧(10)和X向直线轴承(11)。
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